

1、高精度:测量精度可到高达1μm;全自动测量,排除人为干扰,重复测量一致性好。
2、高效率:一次可测量,99+个样品,300+个尺寸,只需≤2S
3、操作简便:放下工件,一键测量简单培训即可轻松上手
4、高性能:双倍双远心镜头,强大的光学系统,高精度直线电机平台
SmartFlash系列解决尺寸测量所有难题,提高检测效率
1、快速:无需治具定位,自动匹配模板测量;简单高效,批量高精度测量;快速生成报告,批量上传数据云。
2、精准:一键测量,转轻松操作并获得稳定结果;自动对焦,无失焦状况再现相同照明;自动识别,每次测量结果准确一致。
3、简单:简单培训,即可轻松进行设定和测量;界面简洁,可视化操作引导编程。
| 型号 | SmartFlash-2020 | |
| 拍摄元件 | 2000万像素COMS | |
| 受光镜头 | 双倍双远心镜头 | |
| 镜头视野 | 广视野 | 82x55mm |
| 高精度 | 30x20mm | |
| 照明系统 | 透射光 | 远心平行光源(绿色) |
| 落射光 | 四通道多角度漫射照明(可选绿色) | |
| 落射光 | 低角度指向性照明(可选绿色) | |
| 落射光 | 同轴光(选配) | |
| XY轴移动范围 | 135*135mm | |
| Z1,Z2轴移动范围 | 72mm | |
| 量测范围 | 广视野 | 215x190mm |
| 高精度 | 165x155mm | |
| 重复精度 | 工作台未移动 | 广视野模式:±1μm |
| 高精度模式:±0.5μm | ||
| 工作台移动 | 广视野模式:±2μm | |
| 高精度模式:±1.5μm | ||
| 测量精度±2σ | 无拼接*1 | 广视野模式:±3μm |
| 高精度模式:±2μm | ||
| 有拼接*2 | 广视野模式:±(5+0.02L)μm | |
| 高精度模式:±(3+0.02L)μm | ||












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